光伏设备行业动态跟踪报告：微导纳米PE-POLY设备成功规模导入头部光伏电池企业

光伏设备行业动态跟踪报告微导纳米PEPOLY设备成功规模导入头部光伏电池企业TOPCon隧穿与掺杂多晶硅核心工艺设备环节具备多种技术路线和对应高度垄断的行业竞争格局。TOPCon相较于PERC增加硼扩散设备、氧化硅隧穿层pPoly层制备设备、去绕镀刻蚀设备，减少激光开槽设备，其中2nm超薄隧穿层与掺杂多晶硅层制备最为核心，可选工艺路线较多。当前较成熟为热氧化法，即拉普拉斯的LPCVD路线，据我们不完全统计，2022年投产100GW左右TOPCon电池片中绝大部分使用LPCVD路线，PECVD、PVD、PEALD路线亦均有设备厂商积极布局。...
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