电子行业周报:光刻机博弈再升级 集成电路发展获高度重视
电子行业周报光刻机博弈再升级集成电路发展获高度重视荷兰拟对华限制出口DUV设备,重视供应链自主可控3月8日,荷兰政府表示计划对半导体技术出口实施新的管制,加入美国对华芯片出口管制的行列。3月9日,ASML发布声明称预计将不得不申请出口DUV机器中最先进部分的许可证。额外的出口管制并不涉及所有DUV光刻机,而只适用于最先进系统,ASML将最先进解读为TWINSCANNXT2000i及之后的DUV系统,因此主要用于成熟制程的NXT1980Di预计不会受影响。该型号也可支持先进制程工艺,但在良率、成本、工艺难度等方面存在诸多问题。...
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